省エネルギープラズマプロセスを実現するナノ秒パルス放電(熊本大学)

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●ナノ秒パルス放電は、非熱平衡プラズマ形成技術の一つです。
●ナノ秒パルス放電は、熱損失を極限まで低減した非熱平衡プラズマ形成技術です。
●代表的な非熱平衡プラズマとして知られる誘電体バリア放電と比較して、圧力損失が小さく、対象の大容量処理が可能です。
●非熱平衡プラズマは、近年、環境、モノづくり、医療など、種々の応用展開がなされています。